在我們的世界里，視覺和聲音都是模擬形式，但當我們利用電子訊號來獲取、儲存和傳送這些模擬現象時，采用數字技術卻能帶來許多重大優點；音訊處理就是個例子，當它從磁帶和黑膠唱片的模擬技術轉變為數字音樂光盤后，數字技術的優點也第一次鮮明的呈現在人們面前 - DLP™ 技術把相同理念帶到靜態和動態影像世界。
在IT業界，DLP™的投影技術，已經成為最熱門的話題之一。在德州儀器(TI)積極的作風下，將有更多的生產廠商加入生產DLP™ 投影機的行列。BenQ作為TI在世界范圍內最主要的3家合作伙伴之一，非常希望將DLP™的技術最清晰的展示給大家。
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在討論DLP™技術之前，我們先來認識4個重要的縮寫
1， DLP™
Digital Light Processing™，簡稱DLP™，中文含義是數字光源處理技術。
2， DMD
Digital Micromirror Device，簡稱DMD，中文含義是數字微鏡器件，這是一種光半導體芯片，它是DLP™技術的核心。
3， MEMS
Micro-Electro-Mechanical System，簡稱MEMS，中文含義是微電子機械系統，DMD就是基于MEMS技術的微電子機械系統。
4， MOEMS
Micro-Optical-Electro-Mechanical System，簡稱MOEMS，中文含義就是微光學電子機械系統，這是MEMS技術的進一步集成。
所以，要了解DLP™技術，我們還是要從MEMS開始，看看他們是如何聯系起來的。
MEMS簡介
MEMS還可以簡稱為微機電系統，這是美國的叫法。目前世界上對于微機電系統，還沒有一個統一的定義。在日本，它通常被稱之為叫做“微機械”，即“Micro Machine”。在歐洲，通常稱為“微系統”，即“Micro System”。而在中國，我們認同MEMS這個名稱。因為MEMS比較完整、準確地刻畫了微機電系統的主要特征。
作為一個系統來講，我們認為它應該包含著可運動的部件，或者可運動的流體，類似這樣的微型器件構成了系統。它要有傳感器；或者是制動器，也稱作執行器，它可以做一些操作。另外，它可以和電路聯系起來，構成一個小小的系統。有的系統還具有信號處理和控制功能，有的有接口電路，有的還可以進行通訊，有的還要帶電源，所以這個所謂的系統，它和一個零件是有所差別的。
簡單地說，MEMS就是對系統級芯片的進一步集成。目前我們幾乎可以在單個芯片上集成任何東西，像運動裝置、光學系統、發音系統、化學分析、無線系統及計算系統等，有些MEMS可以發送、接收以及精確地控制光束，有的可以檢測某些分子，有的還可以模仿人體部分感覺器官。因此如果將邏輯芯片比作大腦，那么MEMS就相當于人的眼睛、鼻子、耳朵或其它感覺器官。此外MEMS還具有電氣、機械或電磁控制功能，若繼續以人作比方，MEMS還可以作為人的手或手指移動各種物體。
MEMS的優勢在于可將傳感器與處理電路利用CMOS工藝集成在一塊IC上，同時具有較機械式傳感器更高的響應速度和更小的封裝尺寸。
我們了解到MEMS它是強調系統集成、機電集成的。那么它是否可以跟光再集成？在MEMS上再加一個光信號（optical），就是optical MEMS，我們稱之為微光機電系統（MOEMS），它是光電信號互相轉換的一個系統。信息技術、光通信技術的發展，使微光機電系統（MOEMS）成為當前研究的熱點。其應用將遍及光通信、光顯示、數據存儲、自適應光學及光學傳感等多個方面。利用MEMS技術制作的新型光器件，插入損耗小，光路間相互串擾極低，對光的波長和偏振不敏感，并且通常采用硅為主要材料，從而器件的光學、機械、電氣性能優良。它采用模塊化設計，更加方便擴展應用。
同時，微光機電系統(MOEMS)產品的復雜程度又提高了一級。芯片置放于密閉的封裝內以防止敏感的光學器件受到外界光線影響，但是必須留出一條光通道。這一方法原理很簡單，但是實施起來比較困難，需要在封裝內設計一個導光的蓋或天窗，雖然有多種材料可供選擇，但是大多數天窗都采用陶瓷或金屬以確保良好的密封性能。
講到這里，大家應該會想到DMD了，沒錯！德州儀器（TI）的Larry J. Hornbeck在1987年成功地應用MOEMS技術發明了數字微鏡器件（DMD）。在光顯示領域，數字微鏡器件一直是復雜光電產品封裝的最好例子，它也是當前最復雜、最尖端的商業化MOEMS產品，預示了未來的發展方向。
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圖1：0.55" SVGA分辨率的DMD |
圖1是一塊完整的DMD半導體芯片，它的鏡面由一百三十萬個精微反射鏡面組成的長方形陣列，每個鏡面對應于投影畫面中的一個光學像素。接下來我們把這些鏡面放大分析。
DMD的制造
DMD精微反射鏡面是一種整合的微機電上層結構電路單元 (MEMS superstructure cell)，它是利用CMOS SRAM記憶晶胞所制成。DMD上層結構的制造是從完整CMOS內存電路開始，再透過光罩層的使用，制造出鋁金屬層和硬化光阻層 (hardened photoresist) 交替的上層結構，鋁金屬層包括地址電極 (address electrode)、絞鏈 (hinge)、軛 (yoke) 和反射鏡，硬化光阻層則作為犧牲層 (sacrificial layer)，用來形成兩個空氣間隙 (air gaps)。鋁金屬會經過濺鍍沉積 (sputter-deposited) 以及電漿蝕刻 (plasma-etched) 處理，犧牲層則會經過電漿去灰 (plasma-ashed) 處理，以便制造出層間的空氣間隙(圖2)。
圖2：微反射鏡上層結構是由多個層所組成 |
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DMD工作原理
| 每個微反射鏡都能將光線從兩個方向反射出去，實際反射方向則視底層記憶晶胞的狀態而定；當記憶晶胞處于「ON」狀態時，反射鏡會旋轉至+12度，若記憶晶胞處于「OFF」狀態，反射鏡會旋轉至-12度。只要結合DMD以及適當光源和投影光學系統，反射鏡就會把入射光反射進入或是離開投影鏡頭的透光孔，使得「ON」狀態的反射鏡看起來非常明亮，「OFF」狀態的反射鏡看起來就很黑暗(圖三)。利用二位脈沖寬度調變可以得到灰階效果，如果使用固定式或旋轉式彩色濾鏡，再搭配一顆或三顆DMD芯片，即可得到彩色顯示效果。
圖3：在「導通」位置的微反射鏡會在屏幕上面產生一個亮點
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DMD的輸入是由電流代表的電子字符，輸出則是光學字符，這種光調變或開關技術又稱為二位脈沖寬度調變 (binary pulsewidth modulation)，它會把8位字符送至DMD的每個數字光開關輸入端，產生28或256個灰階。最簡單的地址序列 (address sequence) 是將可供使用的字符時間 (field time) 分成八個部份，再從最高有效位 (MSB) 到最低有效位 (LSB)，依序在每個位時間使用一個地址序列。當整個光開關數組都被最高位尋址后，再將各個像素致能 (重設)，使他們同時對最高有效位的狀態 (1或0) 做出反應。在每個位時間，下個位會被加載內存數組，等到這個位時間結束時，這些像素會被重設，使它們同時對下個地址位做出反應。此過程會不斷重復，直到所有的地址位都加載內存。
入射光進入光開關后，會被光開關切換或調變成為一群光包 (light bundles)，然后再反射出來，光包時間則是由電子字符的個別位所決定。對于觀察者來說，由于光包時間遠小于眼睛的整合響應（integration）時間，因此他們將會看到固定亮度的光線。
DLP™技術
有了DMD芯片，數字光源處理技術 (Digital Light Processing™，簡稱DLP™) 應運而生。就如上文描述的MEMS技術一樣，DLP™技術也是一個系統而非一顆零件那么簡單。DMD周圍環繞著許多必要功能，例如影像處理、內存、格式轉換、時序控制、光源和投影光學系統，它們與DMD鏡面協同合作，接受數字影像，然后產生一系列的數字光脈沖；這些光脈沖進入眼睛后，我們的眼睛會把它解譯成為彩色模擬影像。DLP™是真正的數字投影和顯示技術。
DLP™ 架構
DLP™ 投影系統分為單片DMD子系統和三片DMD子系統，采用哪一個方案由多項因素決定，包括成本、光源效率、功耗、重量和體積。
| 單芯片DLP™ 子系統主要用于商用數據投影機、絕大多數的家庭娛樂投影機以及大屏幕背投電視，它先利用一組聚光鏡將燈泡發出的光線聚焦在穿透性色輪 (transmissive color wheel)，再利用第二組鏡片將通過色輪的光線均勻聚焦在DMD組件表面。隨著反射鏡旋轉狀態的不同 (+12度或-12度)，光線可能會反射進入投影鏡頭的透光孔 (ON) 或是離開投影鏡頭的透光孔 (OFF) (圖4)。 |
圖4：DLP™單芯片架構 |
采用單片面板可以縮小光學系統的體積，減輕它們的重量，使廠商得以發展出攜帶方便又有彈性的投影機。僅重1.7公斤的BenQ的PB2225投影機就是成功應用單芯片DLP™技術的典范。
對于必須提供高亮度輸出的應用，例如會議室、禮堂、研討會以及出租和舞臺，就必須采用三顆DMD的架構，這能組成更大的反射面積，讓投影機能透過鏡頭提供更高亮度的輸出。
| 在采用三顆DMD組件的投影機中，燈泡發出的光線會被棱鏡分成紅綠藍三種原色，每種顏色則分別被導向適當的DMD組件，這表示紅光、綠光和藍光都各有一顆DMD組件負責執行光調變。對于采用單顆DMD的DLP™ 系統，屏幕像素是一個微反射鏡的輸出結果，但是3-DMD提供的屏幕像素則是三個微反射鏡輸出的組合／聚光結果，一個微反射鏡調變紅光，第二個調變綠光，第三個調變藍光。使用三個DMD組件還能支持更先進的色彩處理，進而提供范圍更寬廣的色彩再生能力 |
圖5：DLP™三芯片架構
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（上篇完）
>>> 下篇
下篇我們將介紹DLP™技術的優勢和發展，如果迫不及待想對DLP™技術有更多的了解，請登陸http://www.dlp.com/overview/chinese/example.htm
http://www.benq.com.cn/Projector/
備注：
Digital Light Processing™ ，DLP™都是注冊商標，Texas Instruments Incorporated版權所有
資料來源：
1，Larry J. Hornbeck Texas Instruments，“Digital Light Processing™: A New MEMS-Based Display Technology”；
2，姜澄宇教授，“微機電系統”；
3，http://www.DLP.com
4，http://www.TI.com
5，http://www.eetchina.com
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